日本Union DH2高精度非接觸深度測量顯微鏡
采用光學(xué)和非接觸方法探測焦距的方法，測量不會給樣品造成變形或劃痕等影響，這些往往是采用物理性接觸測量時產(chǎn)生的?；谀繕?biāo)分光方法原理的精密聚焦指示器的應(yīng)用，以簡單地把兩個目標(biāo)標(biāo)志部分重合起來進行高精度的測量..

XY測量精度0.2微米, Z軸測量精度0.1微米或1微米可選.

Union DH2-AM 高精度自動深度測量顯微鏡
DH2-AM 是電腦控制自動高度、深度測量系統(tǒng)。集成了高精度的圖像自動聚焦，高精 密的脈沖移動平臺和HISOMET-II (DH2)的光學(xué)系統(tǒng)。
◎ 高精度的圖像自動聚焦系統(tǒng)的測量結(jié)果和gao jing 度是很可靠的，沒有人為的因素。
◎ 通過電腦控制，可以完成多點的自動連續(xù)測量，高級的資料處理軟體可以有效的提高測量時間。

UnionDH2 輔助對焦顯微鏡 hisomet深度測量功能：
非接觸測量微細(xì)的撞擊、臺階等。
◎ 通過高精度的光學(xué)聚焦點檢測和完美的聚 焦指示器完成高效的測量
◎ 簡單的操作
◎ Z軸測量行程可從幾個μm 到10mm
◎ 同時還可以完成測量點的表面觀察

觀 測 頭： 三目
Z軸測量范圍： 0.1μm 讀數(shù)，10mm 行程   25MM
Z軸測量精度： 3σ=1μm (40×)
光學(xué)鏡身： 的自動聚焦單元
物 鏡： 5× - 100×
測量軟體： 4種模式
資料處理軟體： 顯示大值，小值，平均值，標(biāo)準(zhǔn)偏差值等

測量臺大小 100*100 50*100 300*200 200*100 300*300

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